Stránka se načítá...
Contents
10/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
A szivattyú rögzítése 141
Használat 143
Karbantartás 145
Megsemmisítés 146
12 Podrecznik Instrukcji 147
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dl
a Pomp
Turbomolekularnych 148
Ogólne informacje 149
Magazynowanie 150
Przygotowanie do instalacji 151
Instalacja 152
Mocowanie pompy 153
Użytkowa
nie 155
Konserwacja 157
Przetworstwo odpadow 158
13 Návod k Použití 159
Bezpečnos
tní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160
Všeobecné informace 161
Uskladnění 162
Přípr
ava k instalaci 163
Instalace 164
Montáž vývěvy 165
Použití 167
TV 702 SEM User Manual
159/270
13
Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160
Všeobecné informace 161
Uskladnění 162
Přípr
ava k instalaci 163
Instalace 164
Montáž vývěvy 165
Použití 167
Zapnutí a používání vývěvy
TV 702 SEM 168
Vypnutí vývěvy
TV 702 SEM 168
Nouzové zastavení 169
Údržba 169
Likvidace 170
Překl
ad originálního návodu
13
Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy
160/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím
návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké
otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo
statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační
energie.
NEBEZPEČÍ!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za
účelem prevence zranění obsluhy!
Návod k Použití
Všeobecné informace
13
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 161/270
Všeobecné informace
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody,
které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů,
nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem
do zařízení nebo jakoukoli činností, která je v rozporu s pokyny
uvedenými v příslušných státních normách.
Vývěvy řady TV 702 SEM jsou turbomolekulární vývěvy pro takové
aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení
může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodná na
čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá
turbína (max. 42000 ot/min.) poháněná vysoce výkonným
trojfázovým elektromotorem. Vývěva TV 702 SEM neobsahuje žádné
kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté"
vakuum.
Je vybaveno přídavnými konektory pro připojení přídavného
ventilátoru, ovládání odvzdušňovacího ventilu, který je ovládán na
dálku pomocí hostitelského počítače připojeného sériovou linkou
(RS232 nebo RS485).
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení.
Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technical Information".
13
Návod k Použití
Uskladnění
162/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Tento manuál používá následující standardní protokol:
NEBEZPEČÍ!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo
činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz.
POZOR!
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení
mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
Uskladnění
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat
následující pokyny:
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli
překračovat následující technické podmínky prostředí:
Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení)
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé
vždycky spouštět pozvolně
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne
doručení.
Návod k Použití
Příprava k instalaci
13
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 163/270
POZOR!
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte
vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis
vývěv firmy Agilent.
Příprava k instalaci
Vývěva TV 702 SEM se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít
během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TV 702 SEM nespadla a
chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál
lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399.
POZOR!
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při
manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte
rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva TV 702 SEM nemůže poškodit. Přesto
doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do
systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
13
Návod k Použití
Instalace
164/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Postava 1
Instalace
POZOR!
Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a
ochranné víko.
Postava 2
Návod k Použití
Montáž vývěvy
13
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 165/270
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým
vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném
prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu
je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím:
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v příloze
“Technical Information”)
relativní vlhkost: 0 -95 % (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technical Information".
Vývěva TV 702 SEM se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz
"Technical Information").
Montáž vývěvy
NEBEZPEČÍ!
Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být
vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude
schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od
systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy.
V tomto případě by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové úlomky,
které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní
zařízení.
Vývěvu TV 702 SEM umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu
turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí
přípojky, která odolá točivému momentu 8600 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli
(jako je typ IC63250DCMZ firmy Agilent).
Následující tabulka uvádí nezbytný počet příchytek IC63250DCMZ
pro každou přírubu a příslušný utahovací moment.
13
Návod k Použití
Montáž vývěvy
166/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Tab. 1
PŘÍRUBA POČET UTAHOVACÍ MOMENT
ISO 160 K 10 35 Nm
ISO 200 K 8 35 Nm
Při připojování turbomolekulární vývěvy s přívodní přírubou ISO 160
F nebo ISO 200 F k vakuové komoře použijte příslušné mechanické
prvky zn. Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical
Information".
Vývěvu TV 702 SEM lze instalovat v libovolné poloze. Optimální chod
vývěvy TV 702 SEM je zaručen, je-li instalovaná ve vertikální poloze.
POZNÁMKA
Vývěvu TV 702 SEM nelze připevnit pomocí její podstavy.
POZOR!
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 702 SEM do druhé elektroinstalační
(nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou
třídu.
Vývěva TV 702 SEM je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory
pro sériovou komunikaci, které se musí připojit k externím obvodům tak, aby
žádná elektrická součást nebyla přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 702 SEM byla přiměřená i
v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Technical Information”.
Návod k Použití
Použití
13
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 167/270
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby
nesmí překročit 120 °C.
NEBEZPEČÍ!
Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího
příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
POZOR!
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly
by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než
2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto
vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
2
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical
Information").
NEBEZPEČÍ!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci
každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
13
Návod k Použití
Použití
168/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Zapnutí a používání vývěvy TV 702 SEM
Pro uvedení vývěvy TV 702 SEM do provozu je nutné přivést síťové
napětí do regulátoru (zvl. přísl.), který automaticky zjišťuje
přítomnost signálů blokování a spouštěcích signálů a uvede vývěvu
do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”.
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim “pozvolného
rozběhu” se automaticky vypne a další starty již budou probíhat bez
“pozvolného rozběhu”. Chcete-li opět zapnout režim “pozvolného
rozběhu”, musíte jej aktivovat patřičným programovým příkazem (viz
odstavec “POPIS KOMUNIKACE RS 232/485” v příloze “Technical
Information”). Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu
regulátoru indikuje provozní stavy systému blikáním:
bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá
nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”;
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 702 SEM
Pro vypnutí vývěvy TV 702 SEM je nutné přerušit síťové napětí
přiváděné do regulátoru, který vývěvu okamžitě zastaví.
NEBEZPEČÍ!
Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V
napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze
doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně schválenou). Používejte tento kabel
se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu
elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES. Vysoké
napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné zranění, i smrtelné.
Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte.
Návod k Použití
Údržba
13
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 169/270
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 702 SEM v nouzové situaci je třeba
odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
Údržba
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 702 SEM v nouzové situaci je třeba
odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
NEBEZPEČÍ!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě,
odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor
přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod
50 °C.
V případě poruchy kontaktujte technický servis firmy Agilent,
kterému může dodat náhradní repasované zařízení výměnou za
porouchané.
POZNÁMKA
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus
vyplňte list „Zdraví a bezpečnost“ přiložený k tomuto návodu a odešlete ho do
kanceláře místního prodejního oddělení. Před odesláním přibalte k zařízení kopii
tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
13
Návod k Použití
Likvidace
170/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Likvidace
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol
odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol
(platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je
takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími
nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných
provozních sběren, kde musí být tříděn a likvidován odděleně od
městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se
nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po
patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o
kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
/