Converters.TV 702 Uživatelský manuál

Stránka se načítá ...

Contents

10/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

A szivattyú rögzítése 141

Használat 143

Karbantartás 145

Megsemmisítés 146

12 Podrecznik Instrukcji 147

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dl

a Pomp

Turbomolekularnych 148

Ogólne informacje 149

Magazynowanie 150

Przygotowanie do instalacji 151

Instalacja 152

Mocowanie pompy 153

Użytkowa

nie 155

Konserwacja 157

Przetworstwo odpadow 158

13 Návod k Použití 159

Bezpečnos

tní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160

Všeobecné informace 161

Uskladnění 162

Přípr

ava k instalaci 163

Instalace 164

Montáž vývěvy 165

Použití 167

Stránka se načítá ...

TV 702 SEM User Manual

159/270

13

Návod k Použití

Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160

Všeobecné informace 161

Uskladnění 162

Přípr

ava k instalaci 163

Instalace 164

Montáž vývěvy 165

Použití 167

Zapnutí a používání vývěvy

TV 702 SEM 168

Vypnutí vývěvy

TV 702 SEM 168

Nouzové zastavení 169

Údržba 169

Likvidace 170

Překl

ad originálního návodu

13

Návod k Použití

Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy

160/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy

Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím

návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké

otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů.

V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo

statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační

energie.

NEBEZPEČÍ!

Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za

účelem prevence zranění obsluhy!

Návod k Použití

Všeobecné informace

13

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 161/270

Všeobecné informace

Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před

použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace

dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody,

které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů,

nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem

do zařízení nebo jakoukoli činností, která je v rozporu s pokyny

uvedenými v příslušných státních normách.

Vývěvy řady TV 702 SEM jsou turbomolekulární vývěvy pro takové

aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení

může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodná na

čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá

turbína (max. 42000 ot/min.) poháněná vysoce výkonným

trojfázovým elektromotorem. Vývěva TV 702 SEM neobsahuje žádné

kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté"

vakuum.

Je vybaveno přídavnými konektory pro připojení přídavného

ventilátoru, ovládání odvzdušňovacího ventilu, který je ovládán na

dálku pomocí hostitelského počítače připojeného sériovou linkou

(RS232 nebo RS485).

Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění

bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení.

Podrobné

informace jsou uvedeny v příloze "Technical Information".

13

Návod k Použití

Uskladnění

162/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Tento manuál používá následující standardní protokol:

NEBEZPEČÍ!

Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo

činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz.

POZOR!

Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení

mohly poškodit zařízení.

POZNÁMKA

Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.

Uskladnění

Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost

turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat

následující pokyny:

 Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli

překračovat následující technické podmínky prostředí:

 Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C

 Rozpětí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení)

 turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé

vždycky spouštět pozvolně

 skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne

doručení.

Návod k Použití

Příprava k instalaci

13

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 163/270

POZOR!

Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte

vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis

vývěv firmy Agilent.

Příprava k instalaci

Vývěva TV 702 SEM se dodává ve speciálním ochranném obalu.

Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít

během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.

Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TV 702 SEM nespadla a

chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.

Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál

lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399.

POZOR!

Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při

manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte

rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.

POZNÁMKA

V normálním prostředí se vývěva TV 702 SEM nemůže poškodit. Přesto

doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do

systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.

13

Návod k Použití

Instalace

164/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Postava 1

Instalace

POZOR!

Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a

ochranné víko.

Postava 2

Návod k Použití

Montáž vývěvy

13

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 165/270

Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým

vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném

prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu

je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím:

 maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem

 teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v příloze

“Technical Information”)

 relativní vlhkost: 0 -95 % (bez srážení)

V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit

feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze

"Technical Information".

Vývěva TV 702 SEM se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz

"Technical Information").

Montáž vývěvy

NEBEZPEČÍ!

Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být

vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude

schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od

systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy.

V tomto případě by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové úlomky,

které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní

zařízení.

Vývěvu TV 702 SEM umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu

turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí

přípojky, která odolá točivému momentu 8600 Nm kolem své osy.

Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli

(jako je typ IC63250DCMZ firmy Agilent).

Následující tabulka uvádí nezbytný počet příchytek IC63250DCMZ

pro každou přírubu a příslušný utahovací moment.

13

Návod k Použití

Montáž vývěvy

166/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Tab. 1

PŘÍRUBA POČET UTAHOVACÍ MOMENT

ISO 160 K 10 35 Nm

ISO 200 K 8 35 Nm

Při připojování turbomolekulární vývěvy s přívodní přírubou ISO 160

F nebo ISO 200 F k vakuové komoře použijte příslušné mechanické

prvky zn. Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical

Information".

Vývěvu TV 702 SEM lze instalovat v libovolné poloze. Optimální chod

vývěvy TV 702 SEM je zaručen, je-li instalovaná ve vertikální poloze.

POZNÁMKA

Vývěvu TV 702 SEM nelze připevnit pomocí její podstavy.

POZOR!

Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 702 SEM do druhé elektroinstalační

(nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou

třídu.

Vývěva TV 702 SEM je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory

pro sériovou komunikaci, které se musí připojit k externím obvodům tak, aby

žádná elektrická součást nebyla přístupná.

Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 702 SEM byla přiměřená i

v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1.

Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z

„Technical Information”.

Návod k Použití

Použití

13

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 167/270

Použití

Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.

Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická

připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby

nesmí překročit 120 °C.

NEBEZPEČÍ!

Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba

připojená k vakuové komoře. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího

příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.

POZOR!

Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly

by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,

který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než

2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto

vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního

plynu (např. N

2

, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical

Information").

NEBEZPEČÍ!

Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo

radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci

každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.

13

Návod k Použití

Použití

168/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Zapnutí a používání vývěvy TV 702 SEM

Pro uvedení vývěvy TV 702 SEM do provozu je nutné přivést síťové

napětí do regulátoru (zvl. přísl.), který automaticky zjišťuje

přítomnost signálů blokování a spouštěcích signálů a uvede vývěvu

do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”.

Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim “pozvolného

rozběhu” se automaticky vypne a další starty již budou probíhat bez

“pozvolného rozběhu”. Chcete-li opět zapnout režim “pozvolného

rozběhu”, musíte jej aktivovat patřičným programovým příkazem (viz

odstavec “POPIS KOMUNIKACE RS 232/485” v příloze “Technical

Information”). Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu

regulátoru indikuje provozní stavy systému blikáním:

 bez blikání: vývěva se otáčí normálně;

 pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá

nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”;

 rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.

Vypnutí vývěvy TV 702 SEM

Pro vypnutí vývěvy TV 702 SEM je nutné přerušit síťové napětí

přiváděné do regulátoru, který vývěvu okamžitě zastaví.

NEBEZPEČÍ!

Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V

napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze

doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně schválenou). Používejte tento kabel

se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu

elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES. Vysoké

napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné zranění, i smrtelné.

Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte.

Návod k Použití

Údržba

13

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 169/270

Nouzové zastavení

Pro okamžité zastavení vývěvy TV 702 SEM v nouzové situaci je třeba

odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.

Údržba

Pro okamžité zastavení vývěvy TV 702 SEM v nouzové situaci je třeba

odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.

NEBEZPEČÍ!

Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě,

odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor

přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod

50 °C.

V případě poruchy kontaktujte technický servis firmy Agilent,

kterému může dodat náhradní repasované zařízení výměnou za

porouchané.

POZNÁMKA

Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus

vyplňte list „Zdraví a bezpečnost“ přiložený k tomuto návodu a odešlete ho do

kanceláře místního prodejního oddělení. Před odesláním přibalte k zařízení kopii

tohoto listu.

Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu

s konkrétními státními normami.

13

Návod k Použití

Likvidace

170/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Likvidace

Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol

odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol

(platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je

takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími

nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných

provozních sběren, kde musí být tříděn a likvidován odděleně od

městského odpadu.

Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se

nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po

patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o

kompletní likvidaci uvedeného výrobku.

Stránka se načítá ...

Converters.TV 702 Uživatelský manuál

Converters.TV 702 Uživatelský manuál

v jiných jazycích

Jiné dokumenty