Varian 969-8902 Uživatelský manuál

Kategorie
Vodní pumpy
Typ
Uživatelský manuál

Tato příručka je také vhodná pro

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
40 87-900-983-01(B)
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
,
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
41 87-900-983-01(B)
VŠEOBECNÉ INFORMACE
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli
nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení
těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami,
neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností,
která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních
normách.
Čerpadlo řady Turbo-V 81-M je turbomolekulární čerpadlo pro
vysokovakuové a ultra vysokovakuové aplikace, které je
schopné čerpat jakýkoli typ nekorozívního plynu nebo
sloučeniny plynů. Nehodí se pro čerpání tekutin nebo pevných
částic.
Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 80000 ot/min.)
poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem.
Vývěva Turbo-V 81-M neobsahuje žádné kontaminující látky a
proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajiště
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
,
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
VAROVÁNÍ
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
USKLADNĚ
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat
následující pokyny:
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního
zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
Vývěva Turbo-V 81-M se dodává ve speciálním ochranném
obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž
mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní
pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
VAROVÁNÍ
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé
ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 81-M nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila
před jakýmkoli znečištěním a prachem.
INSTALACE
VAROVÁNÍ!
Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v
příloze “Technické informace”)
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
42 87-900-983-01(B)
Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-M lze používat jen
ve spojení s některým ze speciálních controllerů Varian a musí
být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu
Technické informace).
Jsou k dispozici následující controllery:
- Rack controller 81-AG: 969-8988
- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
- PCB 24 V 969-9538
Vývěvu Turbo-V 81-M lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
Turbo-V 81-M upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 1000 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO 63 lze připevnit příchytkami z vysoce pevné
oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující
tabulka uvádí nezbytný počet příchytek pro každou přírubu a
příslušný utahovací moment.
PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
POČET UTAHOVACÍ
MOMENT
Příchytky M10 4 22 Nm ISO 63
Příchytky M8 4 11 Nm
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Vývěvu Turbo-V 81-M nelze připevnit pomocí její podstavy.
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 81-M do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou
uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto
příručku pozorně přečtěte.
Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla
zahřát.
Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na
vstupní přírubě překročit 120°C v případě příruby typu ConFlat
a 80°C v případě příruby ISO.
Při zahřívání používejte vždy chlazení vodou.
,
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu
(Dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
"Technické informace").
,
VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
ÚDRŽBA
Čerpadla řady Turbo-V 81-M nevyžadují žádnou údržbu. Vke
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
,
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
POZNÁMKA
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list "Health and Safety" (Zdraví a
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
LIKVIDACE
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.
Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE
pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro
státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto
označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními
domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho
předat do patřičných provozních sběren, kde musí být
tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby
se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který
se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek
postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
  • Page 1 1
  • Page 2 2
  • Page 3 3
  • Page 4 4
  • Page 5 5
  • Page 6 6
  • Page 7 7
  • Page 8 8
  • Page 9 9
  • Page 10 10
  • Page 11 11
  • Page 12 12
  • Page 13 13
  • Page 14 14
  • Page 15 15
  • Page 16 16
  • Page 17 17
  • Page 18 18
  • Page 19 19
  • Page 20 20
  • Page 21 21
  • Page 22 22
  • Page 23 23
  • Page 24 24
  • Page 25 25
  • Page 26 26
  • Page 27 27
  • Page 28 28
  • Page 29 29
  • Page 30 30
  • Page 31 31
  • Page 32 32
  • Page 33 33
  • Page 34 34
  • Page 35 35
  • Page 36 36
  • Page 37 37
  • Page 38 38
  • Page 39 39
  • Page 40 40
  • Page 41 41
  • Page 42 42
  • Page 43 43
  • Page 44 44
  • Page 45 45
  • Page 46 46
  • Page 47 47
  • Page 48 48
  • Page 49 49
  • Page 50 50
  • Page 51 51
  • Page 52 52
  • Page 53 53
  • Page 54 54
  • Page 55 55
  • Page 56 56
  • Page 57 57
  • Page 58 58
  • Page 59 59
  • Page 60 60
  • Page 61 61
  • Page 62 62
  • Page 63 63
  • Page 64 64
  • Page 65 65
  • Page 66 66
  • Page 67 67
  • Page 68 68

Varian 969-8902 Uživatelský manuál

Kategorie
Vodní pumpy
Typ
Uživatelský manuál
Tato příručka je také vhodná pro