Varian 969-8902 Uživatelský manuál

Stránka se načítá ...

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ

40 87-900-983-01(B)

Bezpečnostní návod

pro

Turbomolekulární vývěvy

Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké

množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem

jejich rotorů.

V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení

rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.

,

VÝSTRAHA!

Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány

za účelem prevence zranění obsluhy!

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ

41 87-900-983-01(B)

VŠEOBECNÉ INFORMACE

Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před

použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace

dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli

nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení

těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami,

neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností,

která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních

normách.

Čerpadlo řady Turbo-V 81-M je turbomolekulární čerpadlo pro

vysokovakuové a ultra vysokovakuové aplikace, které je

schopné čerpat jakýkoli typ nekorozívního plynu nebo

sloučeniny plynů. Nehodí se pro čerpání tekutin nebo pevných

částic.

Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 80000 ot/min.)

poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem.

Vývěva Turbo-V 81-M neobsahuje žádné kontaminující látky a

proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum.

Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění

bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné

informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".

Tento manuál používá následující standardní protokol:

,

VÝSTRAHA!

Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý

postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly

způsobit vážný úraz.

 VAROVÁNÍ

Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě

nedodržení mohly poškodit zařízení.

POZNÁMKA

Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.

USKLADNĚNÍ

Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost

turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat

následující pokyny:

• Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste

neměli překračovat následující technické podmínky

prostředí:

• Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C

• Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)

• turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a

poprvé vždycky spouštět pozvolně

• skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode

dne doručení.

 VAROVÁNÍ

Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,

vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního

zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.

PŘÍPRAVA K INSTALACI

Vývěva Turbo-V 81-M se dodává ve speciálním ochranném

obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž

mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní

pobočku.

Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte

jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.

Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento

materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice

EEC 85/399.

 VAROVÁNÍ

Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé

ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny

vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.

POZNÁMKA

V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 81-M nemůže

poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,

dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila

před jakýmkoli znečištěním a prachem.

INSTALACE

 VAROVÁNÍ!

Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému

nesundávejte adhezní a ochranné víko.

Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno

atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním

plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým

nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující

podmínky dané prostředím:

− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem

− teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v

příloze “Technické informace”)

− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)

V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit

feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze

"Technické informace".

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ

42 87-900-983-01(B)

Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-M lze používat jen

ve spojení s některým ze speciálních controllerů Varian a musí

být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu

Technické informace).

Jsou k dispozici následující controllery:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Vývěvu Turbo-V 81-M lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu

Turbo-V 81-M upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní

přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese

torzní moment 1000 Nm kolem své osy.

Např. přírubu ISO 63 lze připevnit příchytkami z vysoce pevné

oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující

tabulka uvádí nezbytný počet příchytek pro každou přírubu a

příslušný utahovací moment.

PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ

ZAŘÍZENÍ

POČET UTAHOVACÍ

MOMENT

Příchytky M10 4 22 Nm ISO 63

Příchytky M8 4 11 Nm

Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí

připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu

firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické

informace".

POZNÁMKA

Vývěvu Turbo-V 81-M nelze připevnit pomocí její podstavy.

 VAROVÁNÍ

Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 81-M do

druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte

do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.

Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické

informace".

POUŽITÍ

Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou

uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto

příručku pozorně přečtěte.

Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla

zahřát.

Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na

vstupní přírubě překročit 120°C v případě příruby typu ConFlat

a 80°C v případě příruby ISO.

Při zahřívání používejte vždy chlazení vodou.

,

VÝSTRAHA!

Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba

připojená k vakuové komoře.

Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství

nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.

 VAROVÁNÍ

Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a

prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.

Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který

je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí

být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).

Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny

speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu

(Dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu

"Technické informace").

,

VÝSTRAHA!

Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo

radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro

likvidaci každého plynu.

Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.

ÚDRŽBA

Čerpadla řady Turbo-V 81-M nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré

práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.

,

VÝSTRAHA!

Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte

jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,

počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud

povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.

V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy

Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení

výměnou za porouchané.

POZNÁMKA

Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za

repasovaný kus, musíte list "Health and Safety" (Zdraví a

bezpečnost)

přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře

místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte

k zařízení přibalit kopii tohoto listu.

Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu

s konkrétními státními normami.

LIKVIDACE

Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.

Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE

pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro

státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto

označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními

domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho

předat do patřičných provozních sběren, kde musí být

tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.

Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby

se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který

se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek

postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku.

Stránka se načítá ...

Varian 969-8902 Uživatelský manuál

Tato příručka je také vhodná pro

Varian 969-8902 Uživatelský manuál

v jiných jazycích

Související papíry

Jiné dokumenty